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Membranventile

Unsere Membranventile sind in verschiedenen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich, um Ihre Anforderungen für hochreine und ultrahochreine (UHP) Anwendungen zu erfüllen.

Membranventile:

  • haben eine lange Lebensdauer und bieten eine effektive Absperrung
  • sind mit verschiedenen Betätigungsoptionen erhältlich, darunter manuelle, pneumatische und abschließbare
  • werden in einer großen Vielfalt an Werkstoffen und Konfigurationen angeboten.

Unser Angebot an Membranventilen:

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Membranventile zur Gasverteilung (Serie LD)

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Mit Durchflusskoeffizienten von bis zu 13 und einer Vielzahl an Konfigurationen und Materialien können Gasverteilungs-Membranventile der Serie LD zahlreiche ultrahochreine Absperr- , Gasverteilungs- und Abtrenn-Anwendungen unterstützen.

Technische Daten

Arbeitsdruck bis 20,6 bar (300 psig)
Temperatur -20 bis 148°C (–4 bis 300°F)
Durchflusskoeffizient bis 13
Körperwerkstoffe Edelstahlguss CF3M, geschmiedete Körper und Stangenmaterial aus Edelstahl 316
Membranwerkstoff Edelstahl 316L
Endanschlüsse
Typ Swagelok Rohrverschraubung, VCR® Außengewinde, NPT-Innengewinde, ISO-Innengewinde, Rohrverlängerung
Größe 12 bis 25 mm; 1/4 bis 1 Zoll

Membranventile (Serien DL und DS)

Shop DL and DS SeriesKatalog für die Serien DL und DS

Membranventile der Serie DL und DS bieten eine packungslose, rein metallische Abdichtung nach außen für hochreine und ultrahochreine Systeme und für einen Druckeinsatzbereich bis 241 bar (3500 psig).

Technische Daten

Arbeitsdruck bis 241 bar (3500 psig)
Temperatur -73 bis 121°C (–100 bis 250°F)
Durchflusskoeffizient bis 0,30
Körperwerkstoff Edelstahl 316L
Membranwerkstoff Edelstahl 316
Endanschlüsse
Typ Swagelok-Rohrverschraubung, VCR®-Verschraubung, VCO®-Verbindung mit O-Ring, Stumpfschweißung, Muffenschweißung
Größe 6 und 8 mm; 1/4, 3/8 und 1/2 Zoll

Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile (Serie DRP)

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Die verbesserte Konstruktion der Serie DRP führt zu weniger Einschlussbereichen und einer längeren Lebensdauer der Membran und erfüllt die SEMI-Norm F57-0301 für ultrahochreine chemische Verteilungssysteme und Geräte.

Technische Daten

Druckraten bis 6,8 bar (100 psig)
Medientemperatur 23 bis 100°C (73 bis 212°F)
Durchflusskoeffizient bis 10,2
Körper, Membranwerkstoff Modifiziertes PTFE
Endanschlüsse
Typ Flare-Außenfeingewinde und Nippon Pillar Super 300 Standard; ISO, NPT, Flowelll
Größe 6 bis 25 mm und 1/4 bis 1 1/4 Zoll
Konfiguration Zwei- und Dreiwege-Absperrventile mit manueller und pneumatischer Betätigung; Modelle mit regulierbarem Durchfluss und Bypass

Federlose Membranventile für hohen Durchfluss (Serie DF)

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Membranventile der Serie DF wurden für viele verschiedene ultrahochreine Anwendungen mit hohem Durchfluss mit einem Durchflusskoeffizienten von 0,62 entwickelt. Sie sind mit Endanschlüssen für hohen Durchfluss erhältlich.

Technische Daten

Arbeitsdruck Vakuum bis 20,6 bar (300 psig)
Berstdruck 220 bar (3200 psig)
Steuerdruck 4,9 bis 6,8 bar (70 bis 100 psig)
Temperatur -23 bis 132°C (-10 bis 270°F)
Durchflusskoeffizient 0,62
Körperwerkstoffe Edelstahl 316L VAR
Membranwerkstoff Legierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Type Typ „H“ VCR®-Verschraubung, VCR-Anschlüsse, Stumpfschweißanschluss
Size 10 und 12 mm; 1/4, 3/8 und 1/2 Zoll

Federlose Membranventile für hohe Leistung (Serie DP)

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Die aus Edelstahl 316L VIM-VAR gefertigten Membranventile der Serie DP eignen sich für eine Vielzahl von ultrahochreinen Anwendungen.

Technische Daten

Arbeitsdruck Vakuum bis 210 bar (3045 psig)
Berstdruck Bis 840 bar (12 200 psig)
Steuerdruck 4,2 bis 8,2 bar (60 bis 120 psig)
Temperatur -23 bis 150°C (-10 bis 300°F)td>
Durchflusskoeffizient 0,20 und 0,27
Körperwerkstoffe Edelstahl 316L VIM-VAR
Membranwerkstoff Legierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Type Swagelok Rohrverschraubung, VCR®-Anschluss Stumpfschweißanschluss, modulare - Flächenmontage (Modular Surface Mount - MSM)
Size 1/4 Zoll; 6 mm

Federlose Membranventile, 1,125 Zoll, für modulare Gassysteme (Serie DE)

Katalog zur Serie DE

Die federlosen Membranventile der Serie DE sind mit einer Vielzahl an Antriebsoptionen für die einfache Integration in Ihr modulares 1,125-Zoll-C-Dichtungs- bzw. W-Dichtungs-Gassystem erhältlich.

Technische Daten

Arbeitsdruck Vakuum bis 8,6 bar (125 psig)
Berstdruck 220 bar (3200 psig)
Steuerdruck
Normal geschlossen 4,1 bis 8,2 bar (60 bis 120 psig)
Normal offen und 4,1 bis 6,2 bar (60 bis 90 psig)
Normal geschlossen mit manueller
integrierter Überdrucksperre
Temperatur -10 bis 65°C (14 bis 150°F)
Durchflusskoeffizient 0,3
Körperwerkstoffe Edelstahl 316L VIM-VAR
Membranwerkstoff Legierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Typ 1,125 Zoll modulare Flächenmontage (MSM)
Konfigurationen Mit 2 und 3 Anschlüssen

Membranventile zur Wärmeimmersion (Serie DH)

Katalog zur Serie DH

Swagelok Membranventile zur Wärmeimmersion bieten hohe Betätigungsgeschwindigkeiten, Durchflusskoeffizienten bis 0,60 und sind für optimale Leistungen bei 220°C (428°F) für Prozesse bei hohen Temperaturen einschließlich Atomlagenabscheidung (ALD) und Zufuhr von Ausgangsstoffen konstruiert. Sie sind sowohl mit pneumatischer als auch mit manueller Betätigung in einer Vielzahl von 1/4 und 3/8 Zoll-Endanschlüssen erhältlich.

Technische Daten

Arbeitsdruck Vakuum bis 4,8 bar (70 psig)
Berstdruck > 220 bar (3200 psig)
Actuation Pressure 4,1 bis 6,2 bar (60 bis 90 psig)
Temperatur 20 bis 220°C (70 bis 428°F)
Durchflusskoeffizient
VCR® Typ H-Anschlüsse 0,60 bei 20°C (70°F)
0,40 bei 220°C (428°F)
VCR und alle anderen Anschlüsse 0,30 bei 20°C (70°F)
0,21 bei 220°C (428°F);
Modulare Flächenmontage body 0,25 bei 20°C (70°F)
0,21 bei 220°C (428°F)
Körperwerkstoff Edelstahl 316L VIM-VAR
Membranwerkstoff Legierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Type VCR und H-VCR-Anschluss, Stumpfschweißanschluss; modulare Flächenmontage (MSM)
Size 1/4 und 3/8 Zoll
1,125 und 1,5 Zoll MSM

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Sichere Produktauswahl: Der Kataloginhalt muss ganz durchgelesen werden, um sicherzustellen, dass der Systementwickler und der Benutzer eine sichere Produktauswahl treffen. Bei der Auswahl von Produkten muss die gesamte Systemanordnung berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich.

⚠ Warnung: Swagelok-Produkte oder -Bauteile, die nicht durch Industrienormen und -standards definiert sind, einschließlich Swagelok Rohrverschraubungen und Endanschlüssen, dürfen nicht durch die Produkte oder Bauteile anderer Hersteller ausgetauscht oder mit den Produkten oder Bauteilen anderer Hersteller vermischt werden.