Atomschichtsedimentierungs- (Atomic Layer Deposition - ALD) Ventile
Swagelok ist ein weltweit führendes technisches Unternehmen und ein Lösungsanbieter für Halbleiter-Chip-Produktionsanwendungen, sowie der Erfinder der ALD-Ventil-Technologie. Unsere ultrahochreinen (UHP) ALD-Ventile bieten Folgendes:
- Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit
- Cv Bereich zwischen 0,27 und 1,7
- Mit Hochtemperatursteuerköpfen voll eintauchbar bis 200°C (392°F)
- Geeignet für UHP-Anwendungen mit Körper aus Edelstahl Standards 316L VIM-VAR
- Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißenden und VCR®-Endanschlüsse
- Optionaler elektronischer oder optischer Steuerkopf-Stellungsmelder
UHP-Membranventile der Serien ALD3 und ALD6
Membranventile für Atomlagenabscheidung bieten eine besonders hohe Zykluslebensdauer, hohe Betätigungsgeschwindigkeit und Durchflusskoeffizienten bis 0,62, zusammen mit Hochtemperatur-Steuerköpfen, Stellungsmeldern und Magnetventilbetätigung für optimalen Einsatz in Atomlagenabscheidungsanwendungen.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | 220 bar (3200 psig) |
| Steuerdruck | 3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig) |
| Temperatur | 0 bis 200°C (32 bis 392°F) |
| Durchflusskoeffizient(Cv) | 0,27 oder 0,62 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Legierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | |
| Typ (Größe) | VCR® Innengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll) VCR® Außengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll) Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,125 Zoll bis 1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss) |
Das ALD20 UHP-Ventil für Anwendungen mit hohem Durchfluss
Das ALD20 UHP-Ventil ist das neueste Ventil der Swagelok-Familie mit ALD-Produkten. Das zum Patent angemeldete Design gestattet die Nutzung schwieriger Stoffe mit niedrigem Dampfdruck. Das ALD20 weist ultrahochreine Faltenbälge auf, die einen saubereren Betrieb und höheren Durchfluss als andere ALD-Ventile liefern.
Außerdem kann das ALD20-Ventil vollkommen thermisch in einen Gasblock eingetaucht und auf Temperaturen zwischen 10°C (50°F) und bis zu 200°C (392°F) erhitzt werden.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 1,4 bar (20 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3200 psig) |
| Steuerdruck | 4,8 bis 6,2 bar (70 bis 90 psig) |
| Temperatur | 10° bis 200°C (50° bis 392°F) |
| Durchflusskoeffizient (Cv) | 1,2 (MSM) oder 1,7 (gerade Ausführung) |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22 |
| Faltenbalg-Werkstoff | Alloy 22 (5 μin. Ra -Oberflächengüte) |
| Endanschlüsse | |
| Typ (Größe) | VCR® Innengewinde (1/2 Zoll) Drehbares VCR-Außengewinde (1/2 Zoll) Rohrstumpfschweißende, 0,50 Zoll lang (1/2 Zoll x 0,049 Zoll) Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) für hohem Durchfluss |
Die Grenzen der ALD-Technologie durchbrechen.
Wir stellen vor: Swagelok ALD20 UHP-Ventil
Unser neues ALD20 UHP-Ventil liefert Leistung bei hohen Temperaturen und hohem Durchfluss. Das eröffnet neue Chancen, um mit Stoffen zu arbeiten, die zuvor nur mit Schwierigkeiten effektiv eingesetzt werden konnten, was es Herstellern erlaubt Fortschritte bei der nächsten Generation der Chip-Technologie zu machen.
Herunterladen des Katalogs für ultrahochreine ALD-Ventile
Fragen? Vertriebs- und Servicezentrum finden.
| Sichere Produktauswahl: Der Kataloginhalt muss ganz durchgelesen werden, um sicherzustellen, dass der Systementwickler und der Benutzer eine sichere Produktauswahl treffen. Bei der Auswahl von Produkten muss die gesamte Systemanordnung berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich. Achtung: Zwei-Klemmring Rohrverschraubungs-Endnanschluss-Bauteile (oder andere Produkte, die nicht der Industriedesign-Norm entsprechen) nicht mit Bauteilen anderer Hersteller vermischen/austauschen. |