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Hochreine Filter

Hochreine Filter

  • Entsprechen den strengen Anforderungen der Norm SEMI E49.8-96 (SCF Serie) für ultrahochreine Gassysteme
  • Inline, vollständig verschweißte Konstruktion

Ganzverschweißte Filter in Durchgangsform (Serie FW)

Technische Daten

Arbeitsdruck bis 413 bar (6000 psig)
Differenzdruck bis 41,3 bar (600 psig)
Temperatur -28 bis 482°C (-20 bis 900°F)
Körper-Werkstoff Edelstahl 316
Element
   Werkstoff Swagelok Rohrverschraubung, NPT Gewinde VCR®-Außengewinde
   Nominal Pore Size 0,5 bis 15 µm
Endanschlüsse
   Typ Swagelok Rohrverschraubung, NPT Gewinde VCR®-Außengewinde
   Größe 1/4 in.; 6 mm

UHP-Gasfilter, Serie SCF

Technische Daten

Arbeitsdruck
bis 206 bar (3000 psig)
Differenzdruck bis 172 bar (2500 psig)
Temperatur Bis zu 200°C (400°F)
Maximale Durchflussrate 2700 std L/min
Körper-Werkstoff 316L VAR Edelstahl
Innenoberfläche Elektropoliert auf 0,13 µm (5 µinch) Ra
Element
   Werkstoff hochreines Aluminiumoxyd
   Abscheidegrad > 99,999999 % bei  0,003 µm
Endanschlüsse
   Typ VCR Verschraubung
   Größe 1/4, 1/2 und 3/4 Zoll

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"Sichere Produktauswahl: Der Kataloginhalt muss ganz durchgelesen werden, um sicherzustellen, dass der Systementwickler und der Benutzer eine sichere Produktauswahl treffen. Bei der Auswahl von Produkten muss die gesamte Systemanordnung berücksichtigt werden, um eine sichere, störungsfreie Funktion zu gewährleisten. Der Systemdesigner und der Benutzer sind für Funktion, Materialverträglichkeit, entsprechende Leistungsdaten und Einsatzgrenzen sowie für die vorschriftsmäßige Handhabung, den Betrieb und die Wartung verantwortlich.

Achtung: Verwenden Sie niemals Kombinationen mit Ventilkomponenten anderer Hersteller, und tauschen Sie keine Komponenten gegen Teile anderer Hersteller aus.”