Gasfilter für ultrahochreine Anwendungen

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Swagelok® Ultrahochrein-Gasfilter der Serie SCF
Die UHP-Gasfilter der Serie SCF von Swagelok sind zur Erfüllung der strengen Anforderungen von SEMI E49.8-96 konstruiert. Mit ihrem patentrechtlich geschützten Membralox® Keramikfilterelement und einem Körper aus Edelstahl 316L VAR sind die UHP-Filter der Serie SCF eine Lösung für viele anspruchsvolle Gasfiltrieranwendungen.

Technische Daten
Arbeitsdruck
Differenzdruck
Temperatur
Max. Durchfluss
Körperwerkstoff
Beschaffenheit der Innenoberfläche
Element
• Werkstoff
• Abscheidegrad
Endanschlüsse
• Typ
• Größe

Bis 206 bar (3000 psig)
Bis 172 bar (2500 psig)
Bis 200°C (400°F)
2700 std L/min
Edelstahl 316L VAR
Elektropoliert auf 0,13 µm (5 µinch)Ra

Hochreines Aluminiumoxyd
> 99,9999999 % bei 0.0003 µm

VCR®-Fittings
1/4,1/2 und 3/4 Zoll

Weitere Informationen
Den Katalog Ultrahochreine Gasfilter—Serie SCF herunterladen.
Den Technischen Bericht für UHP-Gasfilter der Serie SCF herunterladen.
Ultrahochreine Gas-Filter in der Produktsuche finden.

Andere Filter
Ganzverschweißte Filter in Durchgangsform, Filter in Durchgangsform und Filter in T-Form für allgemeine Anwendungen
Koaleszenz- und Gaspartikelfilter

Ultrahochreine Gasfilter Merkmale

Membralox Keramik-Filtriertechnologie
Hohe Effizienz bei der Partikelabscheidung
Außergewöhnlich niedrige Partikelerzeugung
Hervorragende Austrocknungseigenschaften bei Feuchtigkeit
Extrem niedrige Ausgasung
Hervorragende chemische Kompatibilität
Hoher Differenzdruckbereich
Inline, vollständig geschweißte Konstruktion

Membralox Keramikfiltriertechnik

SEM-Aufnahme, Membranschichten des SCF Filterelements

Das Keramikelement ist eine block- oder rohrförmige Konfiguration mit mehreren Kanälen aus hochreinem Aluminiumoxid. Auf der Aufnahme eines Scan-Elektronen-Mikroskops sind die beiden Membranschichten des Filterelements zu sehen: ultrafein und fein (von oben nach unten).

Das Membralox-Keramikelement ist ein mehrschichtiges Filtermedium. Der Werkstoff ist hochreines Aluminiumoxyd mit einer präzise überwachten Porenstruktur.

Das Membralox® Keramikelement ist ein extrudierter Mehrflusskanalblock bzw. eine rohrartige Struktur. Die Durchflusskanäle innerhalb der Struktur sind mit präzise kontrollierten Membranschichten beschichtet. Ein abschließendes Sinterverfahren fügt die einzelnen Schichten zusammen.

Das ergibt ein Filterelement, das die Partikelerzeugung verringert und verbesserte Durchflusseigenschaften bietet. Der Abscheidegrad des Filters ist größer als 99,9999999 % bei 0,003 μm gemäß einer Prüfung nach SEMI F38-0699.

Das Membralox Keramikelement bietet hohen thermischen und chemischen Widerstand sowie hervorragende Partikelabscheidungs- und Ausgasungseigenschaften.

Prüfung
Alle Filter der Serie SCF werden mit Helium auf eine maximale Leckrate von von 9 × 10^–9 std cm³/s getestet. Die Konstruktion der Serie SCF wurde mit Helium auf eine maximale Leckrate von 2 x 10^–10 std cm³/s getestet.

Reinigung und Verpackung
Alle Filter der Serie SCF werden gemäß Swagelok UHP-Spezifikation (SC-01) gehandhabt.

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SEMI® F57-0301 und mehr: Höhere Standards für UHP-Fluorpolymer-Komponenten
Neue Nassverfahren für die Halbleiterherstellung unter Verwendung von Schlämmen sowie HCI und HF bei höheren Drücken und Temperaturen erfordern höhere Reinheitsstandards und Design- und Materialverbesserungen für Fluidsystemkomponenten.

Qualität, Wiederholbarkeit und Dokumentation treiben die Verwendung von Orbitalrohrschweißungen voran
Das Orbitalschweißverfahren wird zwar seit langem in der Raumfahrt- und Halbleiterindustrie sowie bei anderen hochreinen Anwendungen eingesetzt, wird aber in der allgemeinen Industrie erst jetzt als praktikable und wirtschaftliche Option zur Verbindung von Edelstahlrohren entdeckt.